真空度測試儀操作說明

• 真空度測試儀接線說明

讓滅孤室兩觸頭處于分開狀態，然后繞上磁控電圈，再把磁控線圈的兩個插頭插到磁控電流輸出的兩個紅黑插頭上。另外，高壓線與離子線分別接在真空泡的兩個觸頭上（動、觸頭不分）。

• 按鍵說明

面板上所有的按鍵，若其上的小指示燈亮則表示按鍵有效，反之，則無效。若該鍵有效時，再按該鍵，則指示燈滅，該鍵處于無效狀態。

• 測試步驟方法

• 開機

檢查接線正確后，方可開機。將儀器面板上的電源開關鍵按向“開”位置，數碼顯示屏的*即出現“P”字，經校驗(3.2步驟)正常后, 說明儀器運行正常，預熱5分鐘后便可進行測量.

• 儀器檢查

執行該功能，校驗儀器及自檢功能。順序按【選擇鍵】、【校驗鍵】、【測量鍵】，使其有效。使用上下鍵調節檢查參數（管型顯示處）

• 選擇參數1～3采樣放大器檢查：

調至1時，顯示值均0.000---9.000×10^-6之間；

調至2時，顯示值均0.000---9.000×10^-5之間；

調至3時，顯示值均0.000---9.000×10^-4之間；

• 選擇參數4充電控制檢查：

調至4時，充電回路接通，終將電容電壓控制在350V。

• 選擇參數5，顯示器檢查：

此時，顯示器逐筆點亮，六位一致不多筆畫少筆畫。檢查完畢需按【復位鍵】。

選擇參數6，啟動高壓：

這時，高壓指示燈亮，高壓產生，顯示器后四位顯示高壓值，單位是萬伏。做該項檢查時，注意高壓線位置，以免發生危險。

• 選擇參數7，內部數據存儲器檢查：

   儀器內計算機對內部數據存儲器進行嚴格檢查，顯示器顯示出正在接受檢查的單元的地址，若出錯，則計算機停止檢查，顯示器的值即是出錯地址。單元編號以8000H—9FFFH，當接近9FFFH時，按住上下鍵，則檢查結束時，退出該項檢查，反之，則重復檢查。

• 管型選擇
  • 測量時，首先確認真空泡管型。參照說明書內附錄一或附錄二。將真空泡管型對
    應的曲線號輸入儀器顯示窗口管型內。
  • 若說明書中沒有標明所測量的管型時，可于現場量出真空泡直徑（外徑），尋找
    對應的曲線號即可。應注意的是測量時尺寸盡量相近，并且接線方式相同。
  •    使【選擇鍵】有效，然后用↑鍵↓鍵調整管型參數，調出所需的曲線號（詳見第二章儀器介紹/性能特點/第三節）
  • 如果沒有可代用的參數，則可使【校驗鍵】有效，這樣可直接給出電離電流，一

般來說，電離電流（A）較真空度（Pa）小兩個數量級左右。

• 被測管型是10KV以上選用選擇開關高檔位，10KV以下選用選擇開關低檔位。

3.4 測量

• 管型確定后，按下【選擇鍵】退出選擇，按下【測量鍵】。儀器便自動完成所有

的測量、計算、顯示等全過程。若此時按下打印鍵，則打印測量結果。

• 儀器內計算機執行測量步驟如下：

啟動高壓→測漏電電流→關閉高壓→接通充電開關→電壓到規定值→啟動磁控電流，測量漏電電流+電離電流，→扣除漏電電流→電流轉變成真空度值→顯示。若【校驗鍵】有效，則顯示電流值